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标题
Simulation and deposition experimental study of a microwave plasma chemical vapor deposition device with an oblique cone structure design
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/6.00049...
DOI
10.1116/6.0004980 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：Jibo Hu; Xiaoxiang Zhu; Shusen Zhao; Huibin Wang; Yapei Zhao
出版日期：2026-02-03
求助人
保持好奇 在 2026-05-06 16:38:34 发布自浙江，悬赏 10 积分
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