Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process

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标题	Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process
网址	https://doi.org/10.1116/1.5082275
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	言兼在 2026-03-08 13:49:10 发布自北京，悬赏 10 积分
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