Design and analysis of a scanning magnetron for uniform planar sputtering onto rectangular substrates

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标题	Design and analysis of a scanning magnetron for uniform planar sputtering onto rectangular substrates
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/6.00047...
DOI	10.1116/6.0004799 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Hong S. Yang; Zuoxing Li; Xinhua Zhu; Rongfeng Xiao; Lin Feng; et al 出版日期：2025-10-28
求助人	wan111 在 2026-10-27 11:07:36 发布自上海，悬赏 10 积分
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