Impact of Zn-based inorganic-organic hybrid thin film structure on patterning performance for dry EUV resist applications

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标题	Impact of Zn-based inorganic-organic hybrid thin film structure on patterning performance for dry EUV resist applications
网址	https://doi.org/10.1117/12.3051753
DOI	10.1117/12.3051753 doi
其它	期刊：暂无作者：Thi Thu Huong Chu; Dan N. Le; Ho Kyung Sung; Jin-Hyun Kim; Doo San Kim; et al 出版日期：2025-02-21
求助人	樊珩在 2026-09-30 00:02:51 发布自上海，悬赏 20 积分
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