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MEMS Pressure Sensors Design, Simulation, Manufacturing, Interface Circuits: A Review |
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Artyom Tulaev; А С Козлов; Jacob V. Belyaev; Vera Loboda; Mikhail A. Bellavin; et al 出版日期:2024-02-01 |
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(2025-6-4)