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标题
Importance of Dielectric Elements for Attaining Process Uniformity in Capacitively Coupled Plasma Deposition Reactors
网址
http://dx.doi.org/10.3390/coatings12040457
DOI
10.3390/coatings12040457 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Ho Jun Kim
出版日期：2022-03-28
求助人
Mzuser 在 2026-10-18 19:09:05 发布自伊朗，悬赏 10 积分
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