Diffusion barrier integrity and electrical performance of Cu/porous dielectric damascene lines

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标题	Diffusion barrier integrity and electrical performance of Cu/porous dielectric damascene lines
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/55/27076/01202509.pdf?ar...
DOI	10.1109/led.2003.809535 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：F. Iacopi; Z. Tokei; M. Stucchi; Filip Lanckmans; K. Maex 出版日期：2003-06-05
求助人	compell2022 在 2026-10-19 11:45:52 发布自北京，悬赏 10 积分
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