Effects of a 50 nm AlN intermediate layer on the properties of Al1-xScxN films with varying Sc concentrations

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标题	Effects of a 50 nm AlN intermediate layer on the properties of Al1-xScxN films with varying Sc concentrations 50 nm AlN中间层对不同Sc浓度Al1-xScxN薄膜性能的影响相关领域材料科学图层（电子）化学工程复合材料工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109529
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109529 doi
求助人	程金鸿在 2025-06-19 02:36:28 发布自上海，悬赏 10 积分
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