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 The Effects of Pulse Length Shortening on Average Substrate Current Density in High Power Impulse Magnetron Discharges 脉冲长度缩短对大功率脉冲磁控放电中衬底平均电流密度的影响
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期刊：2022 30th Telecommunications Forum (TELFOR) 作者：V. Yu. Kozhevnikov; V. O. Oskirko; A. A. Solovyev; С. В. Работкин; V. A. Semenov; et al 出版日期：2022-11-15 |
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