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Deep learning-based defect detection using large FOV SEM for 28 nm pitch BEOL layer patterned with 0.33NA single exposure EUV
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2600954
DOI
10.1117/12.2600954 doi
其它 期刊：
作者：Sayantan Das; Kaushik Sah; Ardis Liang; H. S. G. Roy; Kha Tran; et al
出版日期：2021-09-30
求助人
迷恋小怪兽 在 2025-10-25 13:40:55 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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