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 Metalorganic chemical vapor deposition epitaxy of β-Ga2O3 films on (001) Ga2O3 substrates with fast growth rates （001）Ga2O3衬底上快速生长β-Ga2O3薄膜的金属有机化学气相沉积外延
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Lingyu Meng; Dong Su Yu; Md. Mosarof Hossain Sarkar; Hongping Zhao 出版日期：2025-06-20 |
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