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标题
Metalorganic chemical vapor deposition epitaxy of β-Ga2O3 films on (001) Ga2O3 substrates with fast growth rates
（001）Ga2O3衬底上快速生长β-Ga2O3薄膜的金属有机化学气相沉积外延
相关领域
金属有机气相外延 三甲基镓 化学气相沉积 材料科学 外延 增长率 薄膜 分析化学（期刊） 体积流量 光电子学 图层（电子） 化学工程 纳米技术 化学 几何学 有机化学 量子力学 物理 工程类 数学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004575
DOI
10.1116/6.0004575 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Lingyu Meng; Dong Su Yu; Md. Mosarof Hossain Sarkar; Hongping Zhao
出版日期：2025-06-20
求助人
Handy 在 2025-09-30 15:33:19 发布自浙江，悬赏 10 积分
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