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 Study of ArF phase shift masks radiation damage induced scum defect ArF相移掩模辐射损伤引起浮渣缺陷的研究
相关领域
材料科学
光电子学
辐射损伤
相（物质）
辐照
辐射
光学
物理
核物理学
量子力学
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期刊： 作者：Yuan‐Man Hsu; Kao-Feng Tsai; Angus Chin; David Wang 出版日期：2024-02-23 |
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