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标题
Single-crystalline LiNbO3 integrated onto Si-based substrates via Ar plasma-activated low-temperature direct bonding
氩等离子体激活低温直接键合单晶LiNbO3集成到硅基衬底上
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/acff05
DOI
10.1088/1361-6463/acff05 doi
其它 期刊：Journal of Physics D
作者：R. T. Huang; Mingzhi Tang; Wanyu Kan; Hao Xu; W. Kai; et al
出版日期：2023-10-02
求助人
清新的睿渊 在 2025-09-16 12:50:30 发布自江苏，悬赏 10 积分
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