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 (Invited) Low Energy Methods for Highly Selective Etching and Surface Treatment of Advanced Nanodevices （受邀）用于先进纳米器件的高选择性蚀刻和表面处理的低能量方法
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
纳米技术
曲面（拓扑）
工程物理
工程类
几何学
数学
图层（电子）
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期刊：Meeting abstracts 作者：Mark Kawaguchi 出版日期：2024-11-22 |
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