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标题
Thermodynamic Analysis of Preparation of SiBCN Films Using a Trimethylaminoborane–Tetramethyldisilazane Gas Mixture
三甲氨基硼烷-四甲基二硅氮烷气体混合物制备SiBCN薄膜的热力学分析
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1134/s0036023621110152
DOI
10.1134/s0036023621110152 doi
其它 期刊：Russian Journal of Inorganic Chemistry
作者：В. А. Шестаков; M. L. Kosinova
出版日期：2021-11-01
求助人
雷火神织 在 2025-11-23 10:26:04 发布自河北，悬赏 10 积分
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