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 Low-loss and low-temperature Al2O3 thin films for integrated photonics and optical coatings 用于集成光子学和光学涂层的低损耗低温Al2O3薄膜
相关领域
光子学
材料科学
薄膜
光电子学
工程物理
光学
纳米技术
物理
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Pooya Torab Ahmadi; Michaël Chesaux; Jacek Wójcik; Dino Deligiannis; Peter Mascher; et al 出版日期：2024-10-01 |
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