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Ion beam assisted deposition of multi-layer X-ray mirrors for the extreme ultraviolet lithography
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DOI
10.1016/s0168-583x(03)00766-3 doi
其它 期刊:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms
作者:Thomas Chassé; H. Neumann; B. Rauschenbach
出版日期:2003-05-01
求助人
爱吃鱼的鼠 在 2026-01-26 11:45:40 发布自山东,悬赏 10 积分
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