发布文献求助

Ion beam assisted deposition of multi-layer X-ray mirrors for the extreme ultraviolet lithography

材料科学极紫外光刻离子束同步辐射极端紫外线沉积（地质）离子束辅助沉积图层（电子）离子紫外线光学平版印刷术离子束沉积薄膜光电子学分析化学（期刊）梁（结构）纳米技术化学色谱法有机化学古生物学沉积物激光器物理生物

作者

Thomas Chassé,H. Neumann,B. Rauschenbach

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：2003-05-01 卷期号：206: 377-381 被引量：3

标识

DOI：10.1016/s0168-583x(03)00766-3

求助该文献

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 小二郎上传了应助文件

刚刚; 汉堡包上传了应助文件

1秒前; 大模型的应助被王旭萌采纳，获得10

1秒前; leaiy_完成签到，获得积分10

2秒前; wei完成签到，获得积分10

2秒前; 深情安青上传了应助文件

2秒前; lk完成签到，获得积分10

2秒前; 英勇哈密瓜数据线发布了新的文献求助10

3秒前; 赘婿上传了应助文件

3秒前; Aguanbot关闭了Aguanbot的文献求助

4秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

4秒前; Ava上传了应助文件

4秒前; CipherSage上传了应助文件

4秒前; 占易形发布了新的文献求助10

5秒前; 搜大有发布了新的文献求助10

5秒前; 00发布了新的文献求助10

5秒前; YANGVV完成签到，获得积分20

6秒前; NexusExplorer上传了应助文件

7秒前; Owen上传了应助文件

8秒前; Akim的应助被朱朱朱采纳，获得10

8秒前; 英俊的铭上传了应助文件

8秒前; Snow886关闭了Snow886的文献求助

9秒前; 科研探索者发布了新的文献求助10

10秒前; cornelia发布了新的文献求助10

10秒前; 搜大有完成签到，获得积分10

10秒前; ly发布了新的文献求助10

11秒前; 希望天下0贩的0的应助被nickenyan采纳，获得10

11秒前; 伶俐妙海的应助被zhuhaot采纳，获得50

11秒前; YANGVV发布了新的文献求助10

12秒前; 动听白风的应助被赵浩楠采纳，获得10

12秒前; Yori发布了新的文献求助50

13秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

13秒前; 天天快乐的应助被xy采纳，获得10

14秒前; more完成签到，获得积分10

14秒前; 乐乐上传了应助文件

14秒前; 戚金凤完成签到，获得积分10

15秒前; 共享精神的应助被ccccccccc123采纳，获得10

15秒前; 前进的小宅熊关闭了前进的小宅熊的文献求助

15秒前; 秦子越发布了新的文献求助10

16秒前; PHD发布了新的文献求助30

17秒前

高分求助中: Principles of Economics, 11th Edition 10000; Prescott's Microbiology: 2026 Release ISE 10000; University Physics with Modern Physics, 16th edition 10000; (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Environmental Leverage in Times of Climate Crisis: Product Standards, Carbon Border Measures and Preferential Trade Agreements 1000; Interactions of Vowel Quality and Prosody in East Slavic 1000; Erwählung und Berufung bei Paulus: Bedeutung, Entwicklung und Funktion einer Vorstellung in ihrem frühjüdischen und griechisch-römischen Kontext 850

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 7196935; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8832088; 关于积分的说明 18646049; 捐赠科研通 6835573; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3177267; 关于科研通互助平台的介绍 2331133; 邀请新用户注册赠送积分活动 2151817

今日热心研友

潇洒的惋清

学术文献互助

烂漫的碧玉

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通