| 标题 |
Dry heterometallic resist processing based on thermal sublimation deposition and development |
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10.1117/1.jmm.21.4.041406
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| 其它 |
期刊:Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者:Darı́o L. Goldfarb; Scott Lewis; Richard Grindell; Grigore A. Timco; Richard E. P. Winpenny 出版日期:2022-09-19 |
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