Low-temperature Cu/SiO2 hybrid bonding based on Ar/H2 plasma and citric acid cooperative activation for multi-functional chip integration

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标题	Low-temperature Cu/SiO2 hybrid bonding based on Ar/H2 plasma and citric acid cooperative activation for multi-functional chip integration
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.159074
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.159074 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Fanfan Niu; Xiaobing Wang; Shuhan Yang; Shijiao Xu; Yuyang Zhang; et al 出版日期：2024-03-01
求助人	谯殿艺在 2026-07-21 15:24:25 发布自天津，悬赏 10 积分
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