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标题
Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications
网址
DOI
10.1038/s41378-023-00503-5 doi
其它 期刊:Microsystems & Nanoengineering
作者:Zihao Dong; Qipei He; Dawei Shen; Zheng Gong; Deyuan Zhang; et al
出版日期:2023-03-21
求助人
海绵鲍勃 在 2026-07-31 11:03:36 发布自广东,悬赏 10 积分
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