Design of an objective for a hyper-numerical-aperture immersion lithography tool with a multi-step alternative grouping design method

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标题	Design of an objective for a hyper-numerical-aperture immersion lithography tool with a multi-step alternative grouping design method
网址	https://doi.org/10.1364/AO.457833
DOI	10.1364/AO.457833 doi
其它	期刊：Applied optics-OT 作者：Xu Yan; Yanqiu Li; Lihui Liu; Ke Liu 出版日期：2022-05-09
求助人	llll 在 2026-09-04 12:53:32 发布自吉林，悬赏 10 积分
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