Mechanistic insights in Zr- and Hf-based molecular hybrid EUV photoresists

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标题	Mechanistic insights in Zr- and Hf-based molecular hybrid EUV photoresists
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.18.1.013504
DOI	10.1117/1.jmm.18.1.013504 doi
其它	期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Lianjia Wu; Miloš Baljozović; Giuseppe Portale; Dimitrios Kazazis; Michaela Vockenhuber; et al 出版日期：2019-02-27
求助人	李露露在 2026-08-21 11:01:56 发布自美国，悬赏 20 积分
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