Process Parameter Optimization of Ion Beam Polishing for Single-Crystal Germanium Using Grey Relational Analysis

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标题	Process Parameter Optimization of Ion Beam Polishing for Single-Crystal Germanium Using Grey Relational Analysis
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11837-025-076...
DOI	10.1007/s11837-025-07666-8 doi
其它	期刊：JOM 作者：Yu Rong; Qiming Xie; Haiyang Ma; Xinyu Zhao; Ruiwen Geng; et al 出版日期：2025-08-21
求助人	多学多看多思考在 2026-08-20 23:55:35 发布自浙江，悬赏 10 积分
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