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 Nucleation and growth during tungsten atomic layer deposition on SiO2 surfaces SiO2表面钨原子层沉积过程中的成核与生长
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期刊：Thin Solid Films 作者：Jeffrey W. Elam; Christopher E. Nelson; Robert K. Grubbs; Steven M. George 出版日期：2001-05-01 |
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