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标题
Chemical Vapor-Deposition and Homogeneous Nucleation in Monosilane Pyrolysis Within Interparticle Spaces—Application of Fines Formation Analysis to Fluidized-Bed Cvd
颗粒间空间内甲硅烷热解中的化学气相沉积和均匀成核——细粒形成分析在流化床Cvd中的应用
相关领域
硅烷 成核 热解 流化床 化学气相沉积 化学工程 氢 材料科学 同种类的 沉积（地质） 大气温度范围 硅 分析化学（期刊） 化学 色谱法 纳米技术 复合材料 有机化学 热力学 冶金 物理 工程类 古生物学 生物 沉积物
网址
http://dx.doi.org/10.1016/0009-2509(88)87081-7
DOI
10.1016/0009-2509(88)87081-7 doi
求助人
yyy 在 2025-09-12 10:30:49 发布自江苏，悬赏 10 积分
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