Chemical Vapor-Deposition and Homogeneous Nucleation in Monosilane Pyrolysis Within Interparticle Spaces—Application of Fines Formation Analysis to Fluidized-Bed Cvd - 科研通

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标题	Chemical Vapor-Deposition and Homogeneous Nucleation in Monosilane Pyrolysis Within Interparticle Spaces—Application of Fines Formation Analysis to Fluidized-Bed Cvd 颗粒间空间内甲硅烷热解中的化学气相沉积和均匀成核——细粒形成分析在流化床Cvd中的应用相关领域硅烷成核热解流化床化学气相沉积化学工程氢材料科学同种类的沉积（地质）大气温度范围硅分析化学（期刊）化学色谱法纳米技术复合材料有机化学热力学冶金物理工程类古生物学生物沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1016/0009-2509(88)87081-7
DOI	10.1016/0009-2509(88)87081-7 doi
求助人	yyy 在 2025-09-12 10:30:49 发布自江苏，悬赏 10 积分
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Cambridge University Press

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