Evolution of crystal quality and stress in MOVPE GaN-on-Si (111) induced by AlN interlayers - 科研通

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标题	Evolution of crystal quality and stress in MOVPE GaN-on-Si (111) induced by AlN interlayers
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114762
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114762 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Cai Liu; Kumamoto Akihito; Hassanet Sodabanlu; Cun-Zheng Ning; Masakazu Sugiyama; Yoshiaki Nakano 出版日期：2025
求助人	Sue kong 在 2025-09-30 15:46:31 发布自江苏，悬赏 10 积分
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