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  Formation of crystalline Si1-xGex top layers by ion implantation in crystalline silicon 通过离子注入在晶体硅中形成晶体Si1-xGex顶层
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：A. Nélis; M. Chicoine; F. Schiettekatte; G. Terwagne 出版日期：2023-02-26 |
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