Comparison between mechanical method and chemical-assisted mechanical method for CVD diamond film polishing

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标题	Comparison between mechanical method and chemical-assisted mechanical method for CVD diamond film polishing 相关领域抛光材料科学钻石化学气相沉积表面粗糙度化学机械平面化表面光洁度人造金刚石复合材料纳米技术
网址	https://doi.org/10.1117/12.469741
DOI	10.1117/12.469741 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Chun-Hao Hsieh; Hung-Yin Tsai; Hua-Tang Lai; Hung‐Yi Lin 出版日期：2002-11-01
求助人	鲤鱼飞瑶在 2025-10-31 19:08:38 发布自河南，悬赏 20 积分
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