Blazed gratings with both controllable blaze angle and anti-blaze angle fabricated by using a twice oblique ion beam etching method

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标题	Blazed gratings with both controllable blaze angle and anti-blaze angle fabricated by using a twice oblique ion beam etching method 相关领域光学栅栏蚀刻（微加工）材料科学闪耀光栅衍射光栅梁（结构）光刻胶光电子学物理纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/ao.474098
DOI	10.1364/ao.474098 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Di Zhang; Xinyu Mao; Lijiang Zeng 出版日期：2022-11-04
求助人	卜恸卜恸在 2025-09-27 13:44:54 发布自浙江，悬赏 10 积分
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