标题 |
High-Q Thin-Film Lithium Niobate Microrings Fabricatedwith Wet Etching
湿法刻蚀制备高Q值铌酸锂薄膜微环
相关领域
铌酸锂
材料科学
反应离子刻蚀
蚀刻(微加工)
制作
光电子学
抛光
感应耦合等离子体
薄膜
干法蚀刻
锂(药物)
波导管
纳米技术
光学
等离子体
复合材料
图层(电子)
替代医学
物理
病理
量子力学
医学
内分泌学
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