Dual-diaphragm structural design and validation for overload protection in MEMS piezoresistive absolute pressure sensors - 科研通

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标题	Dual-diaphragm structural design and validation for overload protection in MEMS piezoresistive absolute pressure sensors
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ae3ca6
DOI	10.1088/1361-6439/ae3ca6 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Lijun Yang; Yazhou Sun; Fanjiang Kou; Liwang Xia 出版日期：2026
求助人	lhx 在 2026-04-20 13:44:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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