Low-temperature wafer-scale growth of ultrathin tungsten disulfide for bifunctional interconnect barriers and liners

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标题	Low-temperature wafer-scale growth of ultrathin tungsten disulfide for bifunctional interconnect barriers and liners
网址	https://www.nature.com/articles/s41928-026-01592-6.pdf
DOI	10.1038/s41928-026-01592-6 doi
其它	期刊：Nature Electronics 作者：Muhammed Juvaid Mangattuchali; Hippolyte P.A.G. Astier; Jing-Yang Chung; Hao Tan; Yue Xu; et al 出版日期：2026-03-31
求助人	爱学习的安安在 2026-04-08 14:54:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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