MEMS-based Pt film temperature sensor on an alumina substrate

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标题	MEMS-based Pt film temperature sensor on an alumina substrate 相关领域材料科学退火（玻璃）温度系数电阻率和电导率微电子机械系统大气温度范围粒度分析化学（期刊）表面微加工复合材料光电子学制作电气工程医学化学物理替代医学色谱法病理气象学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2014.03.170
DOI	10.1016/j.matlet.2014.03.170 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Jie Han; Ping Cheng; Hong Wang; Congchun Zhang; Jiubin Zhang; et al 出版日期：2014-04-03
求助人	Zhang 在 2026-03-11 22:27:17 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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