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Silane production from the dichlorosilane by-product of the Siemens process: a comparative study with the trichlorosilane route 西门子法二氯硅烷副产物生产硅烷:与三氯硅烷路线的比较研究
相关领域
二氯硅烷
三氯氢硅
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期刊:Industrial Chemistry and Materials 作者:Zi-Yi Chi; P.K. Bai; Wen‐De Xiao; Mingdong Zhou; Xue‐Gang Li 出版日期:2025-01-01 |
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