The Modulation Effect of LPCVD-Si x N y Stoichiometry on 2-DEG Characteristic of UTB AlGaN/GaN Heterostructure

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标题	The Modulation Effect of LPCVD-Si x N y Stoichiometry on 2-DEG Characteristic of UTB AlGaN/GaN Heterostructure LPCVD-Si × N y化学计量对UTB AlGaN/GaN异质结构2-DEG特性的调制效应相关领域化学计量学化学气相沉积异质结材料科学金属有机气相外延钝化分析化学（期刊）光电子学纳米技术化学物理化学图层（电子）有机化学外延
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2022.3188609
DOI	10.1109/ted.2022.3188609 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Liyang Zhu; Qi Zhou; Kuangli Chen; Wei Gao; Yong Cai; et al 出版日期：2022-09-01
求助人	小菜鸟在 2024-03-26 11:24:34 发布自四川，悬赏 10 积分
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