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Characterization of phosphorus deactivation in epitaxial Si:P and surpassing 1021 cm−3 carrier concentration
网址
https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2024.128046
DOI
10.1016/j.jcrysgro.2024.128046 doi
其它 期刊：Journal of Crystal Growth
作者：Daner Abdula; Yi‐Jen Chiu; Caleb K. Miskin; Alexandros T. Demos
出版日期：2024-12-01
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啦啦啦 在 2026-10-13 10:18:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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