Impact of process anneals on high-k/β-Ga2O3 interfaces and capacitance

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标题	Impact of process anneals on high-k/β-Ga2O3 interfaces and capacitance
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002264
DOI	10.1116/6.0002264 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Roberta Hawkins; Xinglu Wang; N. Moumen; Robert M. Wallace; Chadwin D. Young 出版日期：2023-02-17
求助人	努力小子在 2026-10-13 16:49:18 发布自广东，悬赏 10 积分
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