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Study on charging and thermal effects for an asymmetric trench in plasma etching |
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期刊:Plasma Science and Technology 作者:Peng 鹏 ZHANG 张; Mengyuan 梦缘 TANG 唐; Huihui 慧慧 CHEN 陈; Jiaqi 佳琪 SHA 沙 出版日期:2025-09-01 |
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(2025-6-4)