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标题
Study on charging and thermal effects for an asymmetric trench in plasma etching
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DOI
10.1088/2058-6272/ade422 doi
其它 期刊:Plasma Science and Technology
作者:Peng 鹏 ZHANG 张; Mengyuan 梦缘 TANG 唐; Huihui 慧慧 CHEN 陈; Jiaqi 佳琪 SHA 沙
出版日期:2025-09-01
求助人
甜甜钢铁侠 在 2026-11-03 15:26:35 发布自安徽,悬赏 10 积分
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