Study on the enhancement of surface quality of polyimide films by chemical mechanical polishing

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标题	Study on the enhancement of surface quality of polyimide films by chemical mechanical polishing
网址	http://dx.doi.org/10.1109/cstic64481.2025.11018001
DOI	10.1109/cstic64481.2025.11018001 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Yafei Yin; Baoguo Zhang; Wenhao Xian; Shitong Liu; Sihui Qin 出版日期：2025-03-24
求助人	王老大在 2026-10-27 17:28:22 发布自江苏，悬赏 10 积分
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