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Boron etch-stop in TMAH solutions
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DOI
10.1016/s0924-4247(97)80047-7 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A: Physical
作者:Elin Steinsland; Martin Nese; Anders Hanneborg; Ralph W. Bernstein; Halle Sandmo; et al
出版日期:1996-06-01
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王顺发 在 2026-11-11 09:29:36 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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