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标题
Study the effect of chamber size on inductively coupled plasma parameters
腔室尺寸对电感耦合等离子体参数影响的研究
相关领域
感应耦合等离子体 等离子体 化学 材料科学 物理 核物理学
网址
DOI
10.1063/5.0182048 doi
其它 期刊:AIP conference proceedings
作者:Hawraa H. Marza; Thamir H. Khalaf
出版日期:2023-01-01
求助人
笨笨的仙人掌 在 2024-12-24 15:45:08 发布自甘肃,悬赏 10 积分
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