Near-surface residue formation in CF4/H2 reactive ion etching of silicon

已完结

文献求助详情

标题	Near-surface residue formation in CF4/H2 reactive ion etching of silicon CF4/H2反应离子刻蚀硅中近表面残留物的形成
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/10/6/2398/11770364/...
DOI	10.1116/1.586074 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Gregg E. Potter; G. H. Morrison; Peter K. Charvat; Arthur L. Ruoff 出版日期：2002-07-27
求助人	爱咋咋滴在 2025-02-17 01:32:17 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Don完成签到，获得积分10

52秒前; 赘婿上传了应助文件

1分钟前; 小二郎上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; jasmine完成签到，获得积分10

1分钟前; 慕青上传了应助文件

1分钟前; 黎琨烨发布了新的文献求助10

1分钟前; 汉堡包上传了应助文件

1分钟前; Jasper的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 可爱的函函的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 念神珠恋玥的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 赘婿的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 念神珠恋玥的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI5的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 小二郎的应助被Zzz采纳，获得30

2分钟前; 共享精神的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI5的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 黎琨烨的应助被Zzz采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 葛力完成签到，获得积分20

2分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; Ava上传了应助文件

2分钟前; leif完成签到，获得积分10

2分钟前; 万能图书馆上传了应助文件

3分钟前; 念神珠恋玥上传了应助文件

3分钟前; 念神珠恋玥上传了应助文件

3分钟前; 和和和完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

4分钟前; 搜集达人上传了应助文件

4分钟前; 万能图书馆上传了应助文件

4分钟前; 深情安青上传了应助文件

4分钟前; 念神珠恋玥上传了应助文件

4分钟前; 北侨发布了新的文献求助10

4分钟前; 传奇3的应助被北侨采纳，获得10

4分钟前; sherry发布了新的文献求助10

4分钟前; 北侨完成签到，获得积分10

4分钟前; 可爱的函函的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 啵啵完成签到，获得积分20

4分钟前