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 Effective surface passivation of crystalline silicon by rf sputtered aluminum oxide 射频溅射氧化铝对晶体硅的有效表面钝化
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期刊：physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者：Tsu‐Tsung Li; Andrés Cuevas 出版日期：2009-06-30 |
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