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 Ablation morphology and defect analysis of Ti thin film irradiated by femto- and picosecond laser for fine ablation of Micro-LED display thin film transistor repair 飞皮秒激光辐照Ti薄膜的烧蚀形貌及缺陷分析用于Micro-LED显示薄膜晶体管修复的精细烧蚀
相关领域
材料科学
烧蚀
辐照
光电子学
薄膜
皮秒
激光烧蚀
费托-
激光器
光学
纳米技术
物理
核物理学
工程类
航空航天工程
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