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标题
Mechanical Reliability of SiCN – Ultra Low k Dielectrics in BEOL Interconnect Depending on Fracture Mode
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11281639/11281548/112816...
DOI
10.1109/impact67645.2025.11281680 doi
其它 期刊：2025 20th International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT)
作者：Yeong Seok Ham; Min Sang Ju; Si Hyuk Sung; Myoung Song; Suhyun Bark; et al
出版日期：2025-12-17
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朴素的草莓 在 2026-06-07 21:41:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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