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Surface morphology and chemical microstructure of glow discharge polymer films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition at various Ar/H2 ratios
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网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111142 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Guo Chen; Xing Ai; Ling Zhang; Yansong Liu; Tao Wang; et al
出版日期:2022-05-06
求助人
PhysicsXX 在 2026-03-16 10:18:02 发布自中国,悬赏 10 积分
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