Synthesis of Doped, Ternary, and Quaternary Materials by Atomic Layer Deposition: A Review

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标题	Synthesis of Doped, Ternary, and Quaternary Materials by Atomic Layer Deposition: A Review 相关领域原子层沉积三元运算纳米技术表征（材料科学）材料科学沉积（地质）成核薄膜纳米电子学图层（电子）兴奋剂工程物理计算机科学化学光电子学有机化学物理生物古生物学程序设计语言沉积物
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.8b02878
DOI	10.1021/acs.chemmater.8b02878 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Adriaan J. M. Mackus; Joel R. Schneider; Callisto MacIsaac; Jon G. Baker; Stacey F. Bent 出版日期：2018-12-10
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