Growth and characterization of amorphous boron nitride dielectric films on Si via RF sputtering at room temperature

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标题	Growth and characterization of amorphous boron nitride dielectric films on Si via RF sputtering at room temperature
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2018.05.099
DOI	10.1016/j.matlet.2018.05.099 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Qasim Abbas; Hongwei Liang; Jianjun Shi; Yuanpeng Chen; Xiaochuan Xia; et al 出版日期：2018
求助人	哈哈哈在 2026-04-13 20:28:08 发布自天津，悬赏 10 积分
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