Quantification and improvement of doping uniformity on CVD grown 4H-SiC superjunction structures

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标题	Quantification and improvement of doping uniformity on CVD grown 4H-SiC superjunction structures
网址	https://doi.org/10.1063/5.0291840
DOI	10.1063/5.0291840 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Shiyang Ji; Kazutoshi Kojima; Mitsuru Sometani; Shinsuke Harada; Yasunori Tanaka 出版日期：2025
求助人	ZR 在 2026-05-08 16:58:05 发布自广东，悬赏 10 积分
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